EQUIPMENT · 核心设备

核心设备集群

六大类完整工艺设备集群，全部兼容 8 英寸及以下晶圆，覆盖刻蚀、光刻、镀膜、封装、检测、掺杂外延全工序

刻蚀设备集群

  • STS 系列深硅刻蚀机
  • 北方微电子 8 英寸深硅刻蚀
  • SPTS 高深度陡直刻蚀设备
  • 爱发科多材质 ICP 刻蚀机
  • Lam Research 金属干法刻蚀系统
  • IBE 离子束刻蚀设备
29 台套 · 涵盖深硅刻蚀、金属刻蚀、离子束刻蚀等全品类

光刻设备集群

  • NIKON G6 / I7 / I10 / I12 步进光刻机
  • SUSS MA6 系列接触光刻机
  • EVG 高精度对准光刻系统
  • JEOL / Raith 电子束光刻机
  • 紫外纳米压印设备
  • 全自动涂胶显影机组
完整设备线 · 覆盖步进、接触、电子束、纳米压印全工艺

镀膜设备集群

  • 牛津仪器 PECVD / AMAT LPCVD
  • Optorun 专业光学镀膜机
  • 磁控溅射台 / 电子束蒸发系统
  • PEALD 原子层沉积设备
光学镀膜 + 半导体薄膜全覆盖

封装划片设备集群

  • 迪思科全自动晶圆切割机
  • 德龙飞秒激光精细加工系统
  • SUSS XB8 8英寸大压力键合机
  • WestBond 引线键合机
  • 倒装焊接系统
砂轮切割 / 激光隐形划片 / 键合封装

检测表征设备集群

  • JEOL 冷场发射扫描电镜 SEM
  • 奥林巴斯激光共聚焦显微镜
  • 珀金埃尔默分光光度计
  • Cascade 高低温高压探针测试系统
  • NIKON X 光缺陷检测仪
电学 / 光学 / 形貌 / 缺陷全项检测

掺杂与材料制备

  • 高能离子注入机
  • 快速退火炉 (RTA)
  • MOCVD 外延设备
  • 全自动涂胶显影机组
离子注入 / 退火 / III-V 族外延生长
On Site

设备实拍

眼见为实，欢迎到厂参观验证

Nikon 步进光刻机
光刻设备NIKON NSR 系列步进光刻机
SPTS 刻蚀设备
刻蚀设备SPTS 高深度陡直刻蚀系统
Oxford 刻蚀设备
刻蚀设备Oxford 等离子体刻蚀系统
DISCO 晶圆切割机
封装划片DISCO 全自动晶圆切割机
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