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产品中心

四大产品线矩阵,覆盖无源光学器件、硅基生物芯片、MEMS 半导体定制代工与 VCSEL 激光器一站式委托加工

🔬 无源光学器件

依托石英高精度微纳加工能力,自研二元光学衍射元件、微透镜阵列,覆盖深紫外(DUV)、可见光、红外全波段,适配半导体光刻、激光微加工、光通信、红外成像、医疗激光设备。

DUV 光学衍射元件高纯度熔融石英基材,深紫外激光高效整形、分束、匀化
二元光学衍射元件熔融石英 / 单晶石英,无双折射、高衍射效率,355/532/1064nm
微透镜阵列石英 / 硅双基底可选,激光匀光、光纤耦合、红外成像

🧬 硅基生物芯片

融合半导体 MEMS 微加工与生物检测技术,面向体外诊断、透皮给药、细胞分析、可穿戴传感领域。

硅基微针芯片针尖直径 <10μm,透皮给药、皮肤微量采样、体液生物检测
微流控芯片多材质加工,核酸检测、细胞分选、生化微量分析
柔性电极芯片可弯曲折叠,适配可穿戴医疗传感、柔性生物检测设备

⚙️ MEMS & 半导体芯片定制代工

覆盖 MEMS 传感器与执行器、第三代宽禁带半导体器件、硅基/石英光波导及全品类微纳器件定制。

MEMS 传感器与执行器加速度、压力、温湿度、气体、声学 MEMS 器件,高深宽比体硅刻蚀
第三代半导体器件GaN、SiC、AlN、铌酸锂刻蚀、薄膜沉积、晶圆流片代工
硅基/石英光波导集成光波导、分光、滤波、耦合微结构,光通信、激光雷达
全品类微纳器件定制二维材料器件、PI柔性微器件、微热板、MEMS开关、掩膜版加工、TSV工艺

💡 VCSEL 激光器一站式委托加工

垂直腔面发射激光器全链条代工,覆盖原材料采购、晶圆制造、光学设计、模组组装全流程管控。

定制化方案开发根据应用场景定制不同波长、输出功率、封装形式 VCSEL 芯片
双模式成品交付裸晶圆半成品 / 完整封装模组成品,按需灵活选择
全工序严苛质量管控原材料检验 → 成品 LIV 光谱出厂检测,全程质控
标准化闭环生产需求锁定→工艺评估→签订NDA→封闭式生产→专属物流交付

🗂️ 可代工品类全景

九大品类 · 材料全覆盖 · 科研小片打样到工业批量流片

面发射激光器

  • 垂直腔面发射激光器 VCSEL
  • 垂直外腔面发射激光器 VECSEL
  • 光子晶体面发射激光器 PCSEL
材料:GaAs / InP / GaN 基

边发射激光器

  • 法布里-珀罗激光器 FP
  • 分布反馈激光器 DFB
  • 分布布拉格反射激光器 DBR
  • 分布反馈式面发射 SE-DFB
材料:InP / GaAs

二维材料

  • 石墨烯器件
  • 二维材料异质结器件
  • 二维材料传感 / 光电集成
材料:硅基 / SOI / 石英转移

传感器

  • 加速度计 / 陀螺仪
  • 压力传感器
  • 温度传感器
  • MEMS 麦克风
  • 生物传感器
材料:SOI / 石英 / 玻璃 / 特殊透光材料

GaN-HEMT

  • 耗尽型 D-mode 器件
  • 增强型 E-mode 器件
  • 功率 / 射频器件流片
材料:GaN / SiC / 蓝宝石 / 硅

MEMS 芯片

  • 微流控芯片
  • 微针阵列
  • 微镜阵列(DMD)
  • MEMS 光开关(OCS)
材料:石英 / 硅基 / 聚合物

光电探测器

  • 硅光电二极管
  • InGaAs 光电二极管
  • GaN 基紫外探测器
  • CMOS 图像传感器
  • P-N 结半导体探测器
材料:InP / Si / GaN

光调制与传输

  • 电光调制器(EAM / MZM)
  • 光开关 / 光衰减器
  • 波导 / 分路器(PLC)
  • 光波导耦合微结构
材料:硅光 / 聚合物 / LiNbO₃ / 石英

器件

  • 光电倍增管(PMT)
  • 高阻 Si 基器件
  • 光子晶体结构器件
材料:InP / LiNbO₃ / 高阻 Si

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