苏州工业园区腾飞创新园
AITE OPTOELECTRONIC · Since 2020 · 苏州工业园区腾飞创新园

艾特微加工

成立于 2020 年,坐落于苏州工业园区,专注精密微加工与晶圆代工的高新技术企业,已通过 ISO 9001 认证,面向 MEMS、半导体、光学器件等品类提供定制化微纳加工与代工服务。

自建千级超净实验室,配齐光刻、刻蚀、镀膜、键合、封装划片、检测、离子注入、MOCVD 外延全工序设备,面向高校、科研院所与工业企业提供单步工艺、分段流片、全流程定制代工。

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Products

产品中心

四大产品线 · 九大可代工品类

🔬 无源光学器件

石英高精度微纳加工,自研二元光学衍射元件、微透镜阵列,覆盖 DUV、可见光、红外全波段。

DUV 衍射元件深紫外整形、分束、匀化
二元光学 DOE355/532/1064nm 高衍射效率
微透镜阵列激光匀光、光纤耦合、红外成像

🧬 硅基生物芯片

融合 MEMS 微加工与生物检测技术,面向体外诊断、透皮给药、可穿戴传感领域。

硅基微针芯片针尖直径 <10μm
微流控芯片核酸检测、细胞分选
柔性电极芯片可穿戴生物传感

⚙️ MEMS 半导体定制代工

MEMS 传感器与执行器、第三代半导体、硅基/石英光波导及全品类微纳器件定制。

MEMS 传感器加速度、压力、声学等
第三代半导体GaN / SiC / AlN / 铌酸锂
光波导器件集成光波导、耦合微结构
全品类定制掩膜版、TSV、二维材料

💡 VCSEL 激光器委托加工

垂直腔面发射激光器全链条代工:原材料采购、晶圆制造、光学设计、模组组装。

定制化开发波长 / 功率 / 封装定制
双模式交付裸晶圆或完整模组
全工序质控LIV 光谱出厂检测
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Advantages

核心优势

从设计到交付,一站式闭环服务

1

全品类加工覆盖

MEMS、第三代半导体、光波导、VCSEL 全覆盖,叠加自研光学与生物芯片

2

4/6/8 英寸产线

进口设备集群,兼容研发打样与量产,2 英寸小片至 8 英寸整片

3

双技术团队

半导体工艺设计 + 衍射光学研发双重储备,一对一专属对接

4

一站式闭环

方案设计→掩膜→晶圆制造→封装测试→交付,省去多厂商对接

Applications

应用领域

📡

半导体与
光通信

VCSEL 芯片、DOE 元件、光波导、射频 MEMS

🔬

精密激光
加工

激光匀化、分束 DOE、微透镜阵列

🏥

生物医疗与
体外诊断

硅微针、微流控、柔性生物传感

🏭

工业传感与
物联网

MEMS 传感器、微热板、光电模组

🎓

高校与
科研院所

原型器件、二维材料、科研打样

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