测试 · ZEISS / SEM

电性、光电、形貌与可靠性测试，支持工程批筛选。

• 工艺窗口按材料与图形定义可重复窗口。
• 设备集群进口机台，兼容 8 英寸及以下。
• 在线检测关键尺寸与形貌可闭环。
• 分段或全流程单步、分段或整线代工。
• 保密交付NDA 与封闭式产线。