外延是指在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，在 MEMS 中常用的方法是金属有机物化学气相沉积（MOCVD）。
工艺窗口
按材料与图形定义可重复窗口。
设备集群
进口机台，兼容 8 英寸及以下。
在线检测
关键尺寸与形貌可闭环。
分段或全流程
单步、分段或整线代工。
保密交付
NDA 与封闭式产线。
| 金属有机物化学气相沉积 | GaN，GaAs |
|---|---|
| 化学气相沉积 | SiC |
外形、版图与工艺窗口可按项目提供，联系工程师获取方案。
VCSEL 外延、探测器吸收层与 HEMT 异质结。
应用领域
数据中心
生物医疗
智能汽车
消费电子
智能制造