光刻掩膜板

从版图出图到制版、清洗与缺陷检查，支持研发多层套刻。

• 工艺窗口按材料与图形定义可重复窗口。
• 设备集群进口机台，兼容 8 英寸及以下。
• 在线检测关键尺寸与形貌可闭环。
• 分段或全流程单步、分段或整线代工。
• 保密交付NDA 与封闭式产线。