
按厚度、粘性与耐温窗口选型,适配静电卡盘与临时固定。
静电吸附膜用于晶圆、玻璃与薄膜器件的临时固定与搬运保护。可按尺寸分切,支持洁净包装与批次追溯。
按材料与图形定义可重复窗口。
进口机台,兼容 8 英寸及以下。
关键尺寸与形貌可闭环。
单步、分段或整线代工。
NDA 与封闭式产线。
| 类型 | 静电吸附膜 |
|---|---|
| 用选 | 临时固定 / 搬运保护 |
| 适配 | 晶圆、玻璃、薄膜器件 |
| 服务 | 分切、洁净包装、批次追溯 |
光刻、减薄、切割、检测与晶圆搬运保护。
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